毛刷、滚轮压力平整度分析

应用:UNEO压力分布量测系统可以应用在晶圆、面板清洗机毛刷以及滚轮贴合制程,量测滚轮、毛刷接触压力以及滚轮贴合平整度分析,用来校正毛刷压入量、滚轮贴合平整度,可以进一步使用软体做叠图分析,观看整个画面下滚轮平整度,线上调机达到提高产品生产良率效果。