水压分布分析

应用:UNEO压力分布分析系统具有防水、高灵敏度功能,可以量测晶圆、面板清洗机水压分布,压力范围可经过客制化,量测大小不同的水压,并且即时显示水压分布,达到即时监控以及线上调机功能,进一步分析清洗效果以及减小破片机率,提高产品良率。