アプリケーション

UNEO圧力測定システム

UNEO圧力測定システムは圧力の測定及び圧力分布(平坦度)の分析に最適なセンサーです。
なセンサーです。耐高温、防水性、高解像度、優れた検知感度などの特徴を持つ、専用ソフトウェアで圧力データを分析することを可能です。 センサーシートのサイズと測定範囲は高いカスタマイズ性を実現、様々な製造装置、製造工程にも対応することができます。

特徴:

  1. 耐高温機能:最大動作温度200 °C、PCB基板とウェハ製造などの高温工程にも対応できます。優れた耐高温性を実現。
  2. 防水性:液体が直接吹きかけや湿度が高い場合でも動作できます。液晶パネルのガラス基板洗浄機のブラシの校正と水圧の測定でも対応可能です。
  3. 高解像度:センサーマトリックス最小ピッチは僅か0.5mmですので、高解像度の圧力分布データを測定することが実現。PCB製造工程の幅1mmの治具と半導体CMP平坦化工程などにも対応可能です。
  4. 優れた検知感度:最小検知圧力<20g/cm2、測定範囲はカスタマイズすることができます。洗浄機のブラシの圧力から高圧プレス装置までにも対応可能です。

実績:

FPC Bonding、ガラス基板洗浄、パネル貼り合せ、半導体封止工程、ウェハ平坦化、高温ラミネート