應用

UNEO工業機台感壓分析系統

工業機台感壓分析系統可量測壓合力量及壓力分布 (平整度) 狀況。
壓力 Sensor具有耐高溫、防水、高解析度、高靈敏度等特性,並有專用軟體紀錄、分析壓力數據。 Sensor之尺寸與壓力範圍等規格皆可客製化,適用於各種機台、情境的量測需求。

特性說明:

  1. 耐高溫:操作溫度可達200度C,可應用於PCB板或晶圓製程等中的高溫壓合機台,在高溫環境中依然可以正常操作。
  2. 防水:可在任何有水氣或液體噴濺的環境下使用,例如可用於顯示面板廠的清洗機毛刷校正,或是清洗機水壓分布量測, UNEO sensor皆可以正常使用。
  3. 高解析度:Sensor陣列最小Pitch僅0.5mm,高密度的陣列可提供高解析度的壓力分佈訊號,提供如PCB廠壓合寬度僅1mm壓頭, 達到高精密分析壓力分佈,亦或是晶圓廠CMP研磨機台所需的高精度平整度量測。
  4. 高靈敏度: 靈敏度 <20g/cm2。可依客戶需求,客製量測範圍。不論是毛刷刷毛壓力,或是高壓壓合機台,都能對應使用。

應用實績:

FPC Bonding、面板清洗、面板貼合、晶圓封裝、晶圓研磨、熱壓貼合。