毛刷、滾輪壓力平整度分析

應用:UNEO壓力分佈量測系統可以應用在晶圓、面板清洗機毛刷以及滾輪貼合製程,量測滾輪、毛刷接觸壓力以及滾輪貼合平整度分析,用來校正毛刷壓入量、滾輪貼合平整度,可以進一步使用軟體做疊圖分析,觀看整個畫面下滾輪平整度,線上調機達到提高產品生產良率效果。