UNEO壓力分佈分析系統具有防水、高靈敏度功能,可以量測晶圓、面板清洗機水壓分佈,壓力範圍可經過客製化,量測大小不同的水壓,並且即時顯示水壓分佈,達到即時監控以及線上調機功能,進一步分析清洗效果以及減小破片機率,提高產品良率。