水壓分佈分析
UNEO壓力分佈分析系統具有防水、高靈敏度功能，可以量測晶圓、面板清洗機水壓分佈，壓力範圍可經過客製化，量測大小不同的水壓，並且即時顯示水壓分佈，達到即時監控以及線上調機功能，進一步分析清洗效果以及減小破片機率，提高產品良率。
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