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毛刷、滚轮压力平整度分析

UNEO压力分布量测系统可以应用在晶圆、面板清洗机毛刷以及滚轮贴合制程,量测滚轮、毛刷接触压力以及滚轮贴合平整度分析,用来校正毛刷压入量、滚轮贴合平整度,可以进一步使用软件做迭图分析,观看整个画面下滚轮平整度,在线调机达到提高产品生产良率效果。