ウェハー研磨の平坦度解析
UNEO圧力分布測定システムはウェハー研磨工程用の研磨機構部の平坦度を測定して、圧力分布の均一性を解析します。さらに、ソフトウェアにてリアルタイムで圧力分布平坦度を表示することにより、ウェハー歩留まり率の向上、破損リスクの低減、及び人件費の減少などのメリットがあります。
UNEO圧力分布測定システムはウェハー研磨工程用の研磨機構部の平坦度を測定して、圧力分布の均一性を解析します。さらに、ソフトウェアにてリアルタイムで圧力分布平坦度を表示することにより、ウェハー歩留まり率の向上、破損リスクの低減、及び人件費の減少などのメリットがあります。
