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水圧分布解析

UNEO圧力分布測定システムは防水機能と高い感度があります。ウェハーとパネルクリーナーの水圧分布が測定できます。圧力範囲をカスタマイズすることにより、異なる水圧が測定できて、リアルタイムで水圧分布を表示します。実時間監視と現場での機械調整で、さらに清潔な効果を解析して、破損リスクを低減して、歩留まり率を向上します。